ଏହି ଯନ୍ତ୍ରଟି ଅଣ-ଯୋଗାଯୋଗ, ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଫେଜ୍-ସିଫ୍ଟିଙ୍ଗ୍ ଇଣ୍ଟରଫେରୋମେଟ୍ରିକ୍ ମାପ ପ୍ରଣାଳୀ ଗ୍ରହଣ କରେ, ମାପିବା ସମୟରେ କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷେତ୍ରର ପୃଷ୍ଠକୁ କ୍ଷତି ପହଞ୍ଚାଏ ନାହିଁ, ବିଭିନ୍ନ କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷେତ୍ରର ମାଇକ୍ରୋ-ଟପୋଗ୍ରାଫିର ତ୍ରି-ଡାଇମେନ୍ସନାଲ୍ ଗ୍ରାଫିକ୍ସକୁ ଶୀଘ୍ର ମାପ କରିପାରେ ଏବଂ ମାପକୁ ବିଶ୍ଳେଷଣ ଏବଂ ଗଣନା କରିପାରିବ | ଫଳାଫଳ
ଉତ୍ପାଦ ବର୍ଣ୍ଣନା
ବ Features ଶିଷ୍ଟ୍ୟଗୁଡିକ: ବିଭିନ୍ନ ଗେଜ୍ ବ୍ଲକ୍ ଏବଂ ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଅଂଶଗୁଡିକର ଭୂପୃଷ୍ଠର ରୁଗ୍ଣତା ମାପିବା ପାଇଁ ଉପଯୁକ୍ତ; ଶାସକ ଏବଂ ଡାଏଲର ରେଟିକଲର ଗଭୀରତା; ଗ୍ରେଟିଂ ଗ୍ରୀଭ୍ ଗଠନର ଆବରଣର ଘନତା ଏବଂ ଆବରଣ ସୀମାର ଗଠନ ମର୍ଫୋଲୋଜି; ଚୁମ୍ବକୀୟ (ଅପ୍ଟିକାଲ୍) ଡିସ୍କର ପୃଷ୍ଠ ଏବଂ ଚୁମ୍ବକୀୟ ମୁଣ୍ଡ ସଂରଚନା ମାପ; ସିଲିକନ୍ ୱେଫର୍ ଭୂପୃଷ୍ଠର ରୁଗ୍ଣତା ଏବଂ ପ୍ୟାଟର୍ ଗଠନ ମାପ ଇତ୍ୟାଦି |
ଯନ୍ତ୍ରର ଉଚ୍ଚ ମାପର ସଠିକତା ହେତୁ, ଏଥିରେ ଯୋଗାଯୋଗ ନହେବା ଏବଂ ତିନି-ଡାଇମେନ୍ସନାଲ ମାପର ଗୁଣ ରହିଛି, ଏବଂ କମ୍ପ୍ୟୁଟର ନିୟନ୍ତ୍ରଣ ଏବଂ ମାପ ବିଶ୍ଳେଷଣର ଶୀଘ୍ର ବିଶ୍ଳେଷଣ ଏବଂ ଗଣନାକୁ ଗ୍ରହଣ କରେ | ଏହି ଉପକରଣ ସମସ୍ତ ସ୍ତରର ପରୀକ୍ଷା ଏବଂ ମାପ ଗବେଷଣା ୟୁନିଟ୍, ଶିଳ୍ପ ଏବଂ ଖଣି ଉଦ୍ୟୋଗ ମାପ କକ୍ଷ, ସଠିକ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ କର୍ମଶାଳା, ଏବଂ ଉଚ୍ଚଶିକ୍ଷା ପ୍ରତିଷ୍ଠାନ ଏବଂ ବ scientific ଜ୍ଞାନିକ ଅନୁସନ୍ଧାନ ପ୍ରତିଷ୍ଠାନ ଇତ୍ୟାଦି ପାଇଁ ମଧ୍ୟ ଉପଯୁକ୍ତ |
ମୁଖ୍ୟ ଯାନ୍ତ୍ରିକ ପାରାମିଟରଗୁଡିକ |
ଭୂପୃଷ୍ଠ ମାଇକ୍ରୋସ୍କୋପିକ୍ ଅସମାନତା ଗଭୀରତାର ପରିସର ମାପିବା |
ଏକ କ୍ରମାଗତ ପୃଷ୍ଠରେ, ଯେତେବେଳେ ଦୁଇଟି ସଂଲଗ୍ନ ପିକ୍ସେଲ ମଧ୍ୟରେ 1/4 ତରଙ୍ଗଦ eng ର୍ଘ୍ୟଠାରୁ ଅଧିକ ଉଚ୍ଚତା ଆକସ୍ମିକ ପରିବର୍ତ୍ତନ ନଥାଏ: 1000-1nm
ଯେତେବେଳେ ଦୁଇଟି ପାଖାପାଖି ପିକ୍ସେଲ ମଧ୍ୟରେ ତରଙ୍ଗଦ eng ର୍ଘ୍ୟର 1/4 ରୁ ଅଧିକ ଉଚ୍ଚତା ପରିବର୍ତ୍ତନ ହୁଏ: 130-1nm |
ମାପର ପୁନରାବୃତ୍ତି: δRa ≤0.5nm |
ଅବଜେକ୍ଟିଭ୍ ଲେନ୍ସ ବୃଦ୍ଧି: 40X |
ସାଂଖ୍ୟିକ ଅକ୍ଷର: Φ 65
କାର୍ଯ୍ୟ ଦୂରତା: mm। Mm ମିମି |
ଦୃଶ୍ୟର ସାଧନ କ୍ଷେତ୍ର ଭିଜୁଆଲ୍: Φ0.25 ମିମି |
ଫଟୋଗ୍ରାଫ୍: 0.13 × 0.13 ମିମି |
ଯନ୍ତ୍ରର ବୃଦ୍ଧି ଭିଜୁଆଲ୍: 500 × |
ଫଟୋଗ୍ରାଫ୍ (କମ୍ପ୍ୟୁଟର ସ୍କ୍ରିନ ଦ୍ୱାରା ଦେଖାଯାଏ) -2500 × |
ରସିଭର୍ ମାପ ଆରେ: 1000X1000 |
ପିକ୍ସେଲ ଆକାର: 5.2 × 5.2µm |
ମାପ ସମୟ ନମୁନା ସଂଗ୍ରହ (ସ୍କାନିଂ) ସମୟ: 1S |
ଯନ୍ତ୍ରର ମାନକ ଦର୍ପଣ ପ୍ରତିଫଳନ (ଉଚ୍ଚ): ~ 50% |
ପ୍ରତିଫଳନ (ନିମ୍ନ): ~ 4% |
ଆଲୋକ ଉତ୍ସ: ଇନକାଣ୍ଡେସେଣ୍ଟ୍ ଲ୍ୟାମ୍ପ 6V 5W |
ସବୁଜ ହସ୍ତକ୍ଷେପ ଫିଲ୍ଟର ତରଙ୍ଗଦ eng ର୍ଘ୍ୟ: λ 30 530nm |
ଅଧା ମୋଟେଇ λ ≒ 10nm |
ମୁଖ୍ୟ ମାଇକ୍ରୋସ୍କୋପ୍ ଲିଫ୍ଟ: 110 ମିମି |
ଟେବୁଲ୍ ଲିଫ୍ଟ: 5 ମିମି
X ଏବଂ Y ଦିଗରେ ଗତିର ପରିସର: ~ 10 ମିମି |
କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷେତ୍ରର ଘୂର୍ଣ୍ଣନ ପରିସର: 360 ° |
କାର୍ଯ୍ୟ ଟେବୁଲର ଟିଲ୍ଟ ପରିସର: ± 6 ° |
କମ୍ପ୍ୟୁଟର ସିଷ୍ଟମ୍: P4, 2.8G କିମ୍ବା ଅଧିକ, 17 ଇଞ୍ଚ ଫ୍ଲାଟ ସ୍କ୍ରିନ ପ୍ରଦର୍ଶନ 1G କିମ୍ବା ଅଧିକ ସ୍ମୃତି ସହିତ |